Được xây dựng năm Ất Hợi (1515) do Trần Văn Tăng, một tướng quân xuất gia đi giảng đạo, khởi xướng. Chùa Trầm Vô Vi (Chương Mỹ - Hà Nội) tọa lạc trên đỉnh núi cao nhất của Tử Trầm Sơn.